玻璃擴散泵的工作原理和分類

　　玻璃擴散泵也是一種獲得高真空的設備。玻璃擴散泵的泵體、油鍋、導流管、傘帽、噴口、冷水壁、冷水帽(有的泵沒有冷水帽)和冷水擋板等幾部分全部用玻璃焊接制成，具有透明、直觀、便于操作和清洗等優(yōu)點。已廣泛地應用在科研、生產(chǎn)、教學等各個領域中。

　　玻璃擴散泵的工作原理

　　油鍋中的擴散泵油在真空中被加熱沸騰后，所產(chǎn)生的大量油蒸氣經(jīng)導流管上升至噴口，然后沿傘帽的斜角高速噴出。擴散泵進氣口附近的被抽氣體所產(chǎn)生的分壓高于蒸氣流中該氣體的分壓，故使氣體分子不斷地擴散到蒸氣流中去。氣體分子被油蒸氣撞擊，沿蒸氣流的方向高速運動。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再次受到蒸氣流的碰撞而重新沿著蒸氣的方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞以后，氣體分子被壓縮到下一級噴口。氣體分子被下一級噴口噴出的油蒸氣逐級壓縮到低真空端，最后被前級泵抽走。而油蒸氣碰到冷泵壁上被冷凝成泵油以后，再流回油鍋，重新被加熱蒸發(fā)。如此循環(huán)工作，以達到抽氣的目的。

　　玻璃擴散泵的種類及性能

　　以工作液的種類劃分，玻璃擴散泵主要有油擴散泵和汞擴散泵兩大類。油擴散泵和汞擴散泵又有大、中、小各種型號。玻璃擴散泵目前全國還沒有統(tǒng)一的規(guī)格標準和命名，用戶只能根據(jù)生產(chǎn)單位提供的抽速和極限真空度這兩項性能指標來選用。

　　幾種典型玻璃擴散泵。三級油擴散泵體積?。恍矢?，真空度可達10-9托，抽速約40升/秒，可用在較小的真空系統(tǒng)上。

　　四級油擴散泵有大小兩種規(guī)格，它們的極限真空度均為10-10托。小型四級泵的抽速約為90升/秒；大型四級泵的抽速約為120升/秒。因四級泵比三級泵多了一級噴口，真空度和抽速都有所提高，可用在較大一點的真空系統(tǒng)上。特殊的大型四級油擴散泵，其極限真空度可達10-10托，抽速可達300升/秒。這種泵用途較廣。

　　臥式油擴散泵。它的極限真空度達10-10托，但抽速較小，約10升/秒。由于這種泵的每一級的油鍋各單獨使用一個電爐，而每一電爐又都要用調壓變壓器來控制，操作復雜。因此，目前已很少生產(chǎn)和使用這種擴散泵。

　　小型汞擴散泵。它的極限真空度為10-7托，抽速為20升/秒?？捎迷谛⌒偷墓婵障到y(tǒng)上。

　　大型的汞擴散泵。它的極限真空可達10-10托，抽速約130升/秒。它是目前抽速較大的一種汞擴散泵。在使用汞擴散泵時，有的必須加用冷阱，以避免汞蒸氣進入被抽容器。