油擴(kuò)散泵的工作原理及工作環(huán)境

油擴(kuò)散泵的工作原理及工作環(huán)境

　　油擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域，以低壓高速油蒸氣流作為工作介質(zhì)。泵的工作過(guò)程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口排除的過(guò)程。油擴(kuò)散泵主要由泵體、噴嘴、蒸氣導(dǎo)流管、加熱器、冷卻管等構(gòu)成。

　　擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱沸騰(約200℃)產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管上升由各級(jí)噴嘴定向高速?lài)姵?。由于噴出的油蒸氣中被吸氣體的分壓小于該泵進(jìn)口處被吸氣體的分壓，所以被吸氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸氣流中。油蒸氣撞擊被吸氣體分子，使其沿油蒸氣流方向高速流向泵壁，氣體分子碰到泵壁反射回來(lái)再次受到油蒸氣的撞擊又重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次撞擊后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮，最后被前級(jí)泵抽走。同時(shí)，油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回油鍋中重新被加熱，如此循環(huán)工作。

　　油擴(kuò)散泵所用的油應(yīng)是飽和蒸氣壓很低、熱穩(wěn)定性好的油，如2#或3#油、274和275硅油及聚苯醚等專(zhuān)門(mén)牌號(hào)的擴(kuò)散泵油。在工作中，為了防止泵油的氧化，油擴(kuò)散泵要用羅茨真空泵預(yù)抽到一定的真空，油鍋才可開(kāi)始加熱。擴(kuò)散泵應(yīng)與前級(jí)泵串聯(lián)使用，前級(jí)泵一般采用油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵，如旋片真空泵、滑閥式真空泵。擴(kuò)散泵和不同的前級(jí)泵組合后，可以得到高真空或超高真空的油擴(kuò)散泵系統(tǒng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍為1.33 X 10^-2～1.33×10^-6Pa，其極限壓力可達(dá)10^-8Pa。抽速大，抽速范圍從每秒0.003m³到幾百立方米。對(duì)各種氣體無(wú)選擇性。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，元機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，便于維護(hù)，是目前獲得高真空的主要設(shè)備。特別適用于要求對(duì)大工作室(大的被抽容器)進(jìn)行快速抽空以及迅速排除被處理材料在處理過(guò)程中放出的大量氣體的工藝過(guò)程。

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