渦輪分子泵的使用條件和維護(hù)方法
發(fā)布時(shí)間:2015年08月12日 10:55 閱讀:8140
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澤德
渦輪分子泵一般與離子泵、升華泵或低溫冷凝泵組合使用,用以排除泵不易排除的氫、氦和其他惰性氣體,避免造成不必要的浪費(fèi),不會(huì)單獨(dú)在小流量大抽速的情況下使用渦輪分子泵。
1.渦輪分子泵的運(yùn)用性能與前級(jí)泵的關(guān)系
當(dāng)氣體分子在渦輪葉片間的平均自由程減小到葉片間距的十分之一時(shí),分子間的碰撞過(guò)多,使氣體的傳輸受到影響。一般來(lái)說(shuō),高真空入口端的渦輪葉片由于工作在較低的壓強(qiáng),不會(huì)遇到這種情況,但是靠近出口端的葉片就經(jīng)常處于這種過(guò)渡流的范圍內(nèi)。為了改善渦輪分子泵的運(yùn)用,出口端須配置一個(gè)工作壓強(qiáng)能到達(dá)10-4托抽速較大的前級(jí)泵。
2.防止渦輪分子泵返油
為防止渦輪分子泵本身以及前級(jí)泵的油蒸氣進(jìn)入渦輪分子泵的高真空端。
開(kāi)機(jī)前先用前級(jí)泵抽至2托,然后再啟動(dòng)渦輪分子泵。停機(jī)時(shí),從它的入口端漏入空氣達(dá)到5托的壓強(qiáng),待渦輪分子泵停止轉(zhuǎn)動(dòng)后再關(guān)閉它的出口閥門和機(jī)械泵,同時(shí)令渦輪分子泵內(nèi)的壓強(qiáng)上升至大氣壓以減少軸承滑潤(rùn)油的反擴(kuò)散?;蛘呤菧u輪分子泵與前級(jí)泵同時(shí)停機(jī),關(guān)閉它們中間的閥門,待渦輪分子泵停止轉(zhuǎn)動(dòng)后,從高真空端(或從泵的中部)漏入空氣至大氣壓。
在渦輪分子泵運(yùn)行中,不要在關(guān)閉它的出口閥的情況下漏入氣體使泵內(nèi)壓強(qiáng)突然上升至10托以上。否則氣體將被壓至出口端,因沒(méi)有出路而反射,一部分進(jìn)入軸承滑潤(rùn)部分把油卷出帶到泵內(nèi)并進(jìn)入高真空端造成嚴(yán)重返油。
在渦輪分子泵與前級(jí)泵之間可串入一只擋油阱以防止機(jī)械泵油蒸氣的返流。
立式渦輪分子泵的真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,在改裝舊有擴(kuò)散泵系統(tǒng)時(shí)可直接替代擴(kuò)散泵而無(wú)須改動(dòng)真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的特點(diǎn);其次是泵內(nèi)只有一組渦輪葉片,因而價(jià)格較低廉。
3.立式渦輪分子泵的缺點(diǎn):
(1)泵口垂直向上,各種雜物顆粒容易落入泵體內(nèi)造成損壞,因不能確定保護(hù)網(wǎng)眼能夠小到何種微小顆粒都不能通過(guò),所以在泵口加保護(hù)網(wǎng)仍不能完全幸免。
(2)當(dāng)泵內(nèi)壓強(qiáng)突然上升至大氣壓強(qiáng)時(shí),軸向會(huì)經(jīng)受很大的沖力。
(3)在一般的立式泵中,轉(zhuǎn)子的質(zhì)心并不處于兩個(gè)軸承的中間,而是靠近一個(gè)軸承甚或跑到兩個(gè)軸承之外,軸承、支撐和整個(gè)轉(zhuǎn)子的平衡條件稍稍改變,就容易產(chǎn)生振動(dòng)。這種情形容易產(chǎn)生不穩(wěn)定。
(4)中心軸承的替換很困難,為此必須取出整個(gè)轉(zhuǎn)子并拆開(kāi),同時(shí)替換的軸承不一定能夠與轉(zhuǎn)子的自然旋轉(zhuǎn)中心相吻合,這樣就產(chǎn)生了不平衡。
臥式泵能克服立式分子泵的基本缺點(diǎn)。但臥式泵有兩組渦輪葉片,體積大,外殼形狀復(fù)雜,因而造價(jià)也較高。
4.渦輪分子泵的烘烤去氣
由于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子是鋁合金制的,只能承受140℃的溫度,其中的滑潤(rùn)油不到80℃時(shí)就開(kāi)始分解,因此規(guī)定渦輪分子泵的烘烤溫度不得超過(guò)120℃。在外殼和定子的溫度達(dá)到120℃時(shí),轉(zhuǎn)子被流動(dòng)的滑潤(rùn)劑冷卻,實(shí)際的溫升較小。若要繼續(xù)升高轉(zhuǎn)子的烘烤溫度,可停止冷劑的流動(dòng)或使用其他方法加熱,但是要密切監(jiān)視轉(zhuǎn)子的溫度。
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