機械增壓泵又稱羅茨泵或草鞋泵,是具有分子泵作用的一種容積真空泵。
機械增壓泵是利用兩個“8”字形的轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生吸氣和排氣作用·,其原理和羅茨鼓風(fēng)機相似。由于它在低壓強范圍內(nèi)工作,氣體分子自由程較大,氣體漏過微小縫隙的阻力很木,因而能獲得較高的壓縮比,故可以作為增壓泵使用。但它不能單獨地把氣體直接排到大氣中去,需要和前級真空泵串聯(lián)使用,被抽氣體通過前級真空泵排到大氣中去。
機械增壓泵還有以下特點:
(1) 轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定空隙,互不接觸,不需要用油潤滑。
(2) 轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,可以提高轉(zhuǎn)速(1000—3000轉(zhuǎn)/分),從而能制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。
(3) 泵工作時振動小。
(4) 在泵腔內(nèi)并不發(fā)生象機械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象,可以抽除可凝性氣體。
(5) 啟動快,能在短時間內(nèi)達到極限真空。功率小,維護運轉(zhuǎn)的費用低