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產(chǎn)品目錄

真空泵按工作原理的分類(lèi)

發(fā)布時(shí)間:2017年05月31日 10:56   閱讀:4818   返回   來(lái)源:澤德
  真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作壓強(qiáng),可分為低真空泵、高真空泵和超高真空泵;按其工作原理,大致可分為下面兩大類(lèi):
  1.壓縮型真空泵。也稱為排除型真空泵。其原理是將氣體由泵的入口端壓縮到出口端,并排出泵體外。例如,利用膨脹一壓縮作用的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵、滑閥泵、羅茨泵等;利用氣體黏滯牽引作用的蒸汽流噴射泵;利用氣體擴(kuò)散作用的蒸汽流擴(kuò)散泵;利用分子牽引作用的分子泵等。
  2.吸附型真空泵。也稱俘獲型真空泵。其原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內(nèi)以達(dá)到降低氣體壓強(qiáng)的目的。例如,利用電離吸氣作用的離子泵;利用物理或化學(xué)吸附作用的吸附泵、低溫冷凝泵和吸氣劑泵等。在這類(lèi)泵中,氣體分子并不排出泵外,而是被永久儲(chǔ)存或暫時(shí)儲(chǔ)存于泵內(nèi)。
  任何真空泵,在其工作時(shí)除了抽氣因素外,總是存在著與抽氣相矛盾的因素。例如,氣體經(jīng)壓縮后的反擴(kuò)散、氣體分子從表面的脫附等,這些現(xiàn)象稱為真空泵的返流。只有在抽氣作用強(qiáng)于返流時(shí),泵才能有效地工作。因此,每種泵都有自己的有效運(yùn)用壓強(qiáng)范圍及固有特點(diǎn)。設(shè)計(jì)、制造及運(yùn)用各種真空泵都是以加強(qiáng)抽氣作用、抑制返流為目的的。
  有些泵可以直接在大氣下開(kāi)始工作,如機(jī)械泵和吸附泵;有些泵不能從大氣開(kāi)始,如擴(kuò)散泵、分子泵、離子泵等,這時(shí)就必須輔以滿足一定要求的前級(jí)泵,提供其正常工作所需要的真空度。因此,真空泵按其在真空系統(tǒng)中的角色還可以分為主泵、前級(jí)泵、輔助泵等。前級(jí)泵有兩個(gè)作用:一是為高真空泵的運(yùn)轉(zhuǎn)提供初始環(huán)境,因?yàn)楦哒婵毡猛ǔ2荒茉诖髿鈮合逻\(yùn)轉(zhuǎn);二是在高真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),前級(jí)泵幫助把高真空泵排出的氣體排到大氣中去。
 

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