蒸汽流擴散泵的分類

　　蒸汽流擴散泵可根據(jù)工作液不同；結(jié)構(gòu)材料不同和結(jié)構(gòu)形式不同分類。

　　按擴散泵的工作液分類有汞擴散泵和油擴散泵兩種。汞對人體有害，而且汞的飽和蒸氣壓高，即使加冷凝器它的極限真空也比不上油擴散泵。因此目前大量使用的是油擴散泵，汞擴散泵僅用于被抽容器中存在汞蒸氣的特殊情況(如熒光燈的排氣系統(tǒng)中)。

　　按擴散泵的結(jié)構(gòu)材料分類有金屬擴散泵和玻璃擴散泵兩種。玻璃擴散泵抽速較小，最大每秒僅有幾百升。但是玻璃擴散泵制造簡單，泵體本身以及與真空系統(tǒng)連接的地方都有可靠的氣密性，還有玻璃的透明性，可以用眼睛直接觀察擴散泵的工作狀態(tài)，所以在電光源生產(chǎn)上有著廣泛的應(yīng)用。金屬擴散泵的抽速可以做得小，也可以制得較大，最大可達每秒十多萬升。

　　按結(jié)構(gòu)形式分類有立式泵和臥式泵；單級泵和多級泵。目前使用最多的是三級和四級立式擴散泵。

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