真空機(jī)組是由多臺(tái)真空泵及附件組成的成套真空獲得設(shè)備。機(jī)組中一般有粗抽泵(預(yù)抽泵)、前級(jí)泵、主抽泵和維持泵。

　　粗抽泵從大氣壓開(kāi)始降低系統(tǒng)壓力，一直運(yùn)行到另一抽氣泵可以開(kāi)始工作。前級(jí)泵是用來(lái)維持另一個(gè)真空泵的前級(jí)壓力在臨界前級(jí)壓力以下的真空泵，前級(jí)泵也可以作為粗抽泵用。有些真空泵對(duì)前級(jí)壓力有要求，必須配前級(jí)泵，以維持其前級(jí)壓力低于要求值。有些泵不能從大氣壓力開(kāi)始工作，必須配粗抽泵，達(dá)到預(yù)真空要求才能開(kāi)始工作。如普通羅茨泵、分子泵、擴(kuò)散泵、離子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前級(jí)泵才能正常工作。

　　主抽泵(主泵)是機(jī)組中抽速最大、真空度最高的真空泵，是真空系統(tǒng)獲得最高真空度的真空泵。對(duì)于主泵來(lái)說(shuō)，其他泵都可以算作其前級(jí)泵。

　　真空系統(tǒng)中有時(shí)氣體量很小，不能有效利用主泵的大抽速，為此配置抽速較小的輔助前級(jí)泵維持主泵正常工作或維持已抽容器的工作真空，這種泵稱(chēng)為維持泵。維持泵的使用主要是從經(jīng)濟(jì)環(huán)保的角度考慮的。

　　真空機(jī)組各組成泵之間取長(zhǎng)補(bǔ)短、相互配合，在抽速和極限真空上都比單個(gè)的真空泵有很大提高。根據(jù)需要還可以啟動(dòng)不同的泵或組合，從而能夠滿足多種要求。

　　從使用方便、安全角度出發(fā)，真空機(jī)組一般都配有真空閥門(mén)、充氣閥、波紋管、機(jī)架、冷卻水管路、斷水保護(hù)、真空繼電器、電器控制設(shè)備等。

　　常用的真空機(jī)組有：?jiǎn)渭?jí)或多級(jí)羅茨泵配水環(huán)泵，單級(jí)或多級(jí)羅茨泵配滑閥泵，羅茨水環(huán)滑閥機(jī)組等。