油增壓泵的特點(diǎn)及應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間:2017年03月13日 09:37 閱讀:4818
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澤德
油增壓泵和油擴(kuò)散泵的工作原理基本相同,均是油蒸汽流泵。兩種泵均需要有預(yù)真空環(huán)境,也均不能直接向大氣排氣,需要有前級泵。油蒸汽泵的結(jié)構(gòu)相當(dāng)簡單,維修和安裝都很容易。由于沒有機(jī)械磨損零件,其振動(dòng)和噪音幾乎可以忽略,使用壽命也很長。由于是利用蒸汽流帶動(dòng)氣體分子排氣,因此對越是分子量小的氣體,其抽氣能力就越大。
增壓泵的功率比擴(kuò)散泵要大。增壓泵用于較大的環(huán)境和獲取較高真空度,擴(kuò)散泵用于較小環(huán)境和獲取超高真空度。
真空泵油易于氧化,不應(yīng)長時(shí)間暴露在大氣環(huán)境中。使用后必須首先關(guān)閉通向真空室的管道閥門,以防真空室放氣閥開啟時(shí),因壓力急變導(dǎo)致真空泵油受激濺入真空室使之污染。使用后需待主泵中的泵油冷卻后才可停止前級泵的運(yùn)轉(zhuǎn),否則因主泵排氣口處壓力增高而侵入的空氣將使高溫的真空泵油嚴(yán)重氧化。
此類泵在泵油被加熱開始蒸發(fā)和冷卻循環(huán)后才進(jìn)入正常的工作狀態(tài),因此啟動(dòng)較慢、此外油蒸汽難免會(huì)有少量進(jìn)入真空室,這對某些工藝是不允許的。
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