干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵,一般認(rèn)為是能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內(nèi)工作;在泵的抽氣流道中,不能使用任何油類和液體,排氣口與大氣相通,能直接連續(xù)向大氣中排氣的泵,也稱無油真空泵。
干式真空泵在抽氣流道內(nèi)無任何液態(tài)工作介質(zhì)或密封介質(zhì),從根本上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問題。
干泵的種類很多,目前已開發(fā)出來的有羅茨泵、爪型泵、禍旋泵、往復(fù)活塞泵、螺旋泵等。
螺桿式干式真空泵特點(diǎn)如下:
(1)可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少,沒有易損件,因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠,壽命長。
(2)操作維護(hù)方便。
(3)動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力,機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行。
(4)適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿式干式真空泵具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn),在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速,排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。
(5)多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉(zhuǎn)子齒面問留有微小間隙,因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。