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機械泵的極限真空度產(chǎn)生的原因及克服

發(fā)布時間:2016年09月06日 09:12   閱讀:10919   返回   來源:澤德
  機械泵的極限真空度可以達到10-1 Pa,這取決于以下三個方面的原因。
  (1)機械泵的定子空間中兩空腔間的密封性。這是因為兩個空腔中一個為大氣,另一個為極限壓強,密封不好將直接影響到極限壓強。
  (2)排氣口附近有一個“死角”空間,在旋片移動時它不可能趨于無限小,因此不能有足夠的壓力去頂開排氣閥門。
  (3)泵腔內(nèi)密封油有一定的蒸汽壓。
  由于定子密封性不可能達到完全密封,(2)和(3)屬于客觀因素不易改變,所以機械泵就存在一個極限真空度。通過改進裝置的定子的密封性,改裝裝置盡量減小“死角”空間,對泵腔內(nèi)的密封油進行處理,減小蒸氣壓等方法,可以提高機械泵的真空度,但無法最終克服。

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