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真空泵分類方式及類型

發(fā)布時間:2016年08月29日 09:06   閱讀:7354   返回   來源:澤德
  真空泵可以按不同的工作原理、真空度及結(jié)構(gòu)特點進行分類。
  1.按工作原理分類
  按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,包括氣體轉(zhuǎn)移式真空泵和氣體捕獲式真空泵。氣體轉(zhuǎn)移泵是一種能使氣體不斷地吸人和排出,借以達到抽氣目的的真空泵。該種泵基本上有變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱脙煞N類型。氣體捕獲泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的的真空泵。其中活塞式真空泵、旋片式真空泵、分子真空泵、螺桿式真空泵、噴射真空泵、擴散泵等是幾種有代表性的泵型。
  2.按真空度分類
  目前真空技術(shù)設(shè)計的壓力范圍達100~10-16kPa。這么寬的壓力范圍,除了粗真空和低真空可以用一種真空泵獲得外,高真空以上的領(lǐng)域必須應(yīng)用兩種以上真空泵機組來完成。按照真空度從高/超真空到粗/低真空,真空泵大致可分14大類:即高/超真空一低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵,中真空一干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵、粗/低真空一單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵。
  3.按結(jié)構(gòu)特點分類
  (1)機械式真空泵
  在各種真空設(shè)備中,凡使用機械運動(轉(zhuǎn)動或滑動)不斷改變泵內(nèi)吸氣容腔的容積而獲得真空的泵常稱機械真空泵。機械式容積真空泵靠機械運動使泵腔工作容積周期變化,來實現(xiàn)抽氣作用的是機械式容積真空泵。屬于這類泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機械增壓泵外,一般均可單獨使用。
  此外,分子泵也是一種機械真空泵。它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
  (2)射流式真空泵
  噴射真空泵是由噴嘴、吸入室、擴壓管三部分組成。其本身沒有運動部件,利用流體傳遞能量和質(zhì)量。它利用具有一定壓力的工作流體通過噴嘴高速噴出,通過能量轉(zhuǎn)換,在噴嘴出口形成真空,從而將被抽介質(zhì)吸引出來,兩股介質(zhì)在擴壓管內(nèi)進行混合及能量交換,最后以略高于大氣壓而排出。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。
 

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