吸氣劑可分為二類，一是常溫下活性金屬如鋇合金等的表面吸氣；另一類是高溫下活性金屬如鋯等的容積吸氣。前一類主要依靠表面薄膜吸氣，后一類主要依靠吸氣材料容積內(nèi)部的吸氣。吸氣泵是利用吸氣材料的容積吸氣。

　　容積吸氣劑泵的結(jié)構(gòu)，有點象鈦升華泵，但它并不要求供沉積鈦的大的表面，所以更簡單些。將吸氣材料(鋯、鋁合金粉)輾壓在片條狀的基金屬上，采取直接通電或用輻射加熱的辦法，使吸氣劑達到工作溫度，吸氣劑即能大量吸氣，其工作溫度約為400℃。使用幾次后，如表面出現(xiàn)飽和，可激活一次，激活溫度為800～900℃。激活一般在優(yōu)于10托的真空度下進行。激活后泵的抽速可以恢復，但是引起再飽和的氣體量比激活前的顯著減少。如有需要，可繼續(xù)進行激活，照此循環(huán)下去，直至經(jīng)激活后不再維持足夠的抽速，這時泵的總吸氣量稱吸氣容量。

　　容積吸氣劑泵的極限壓強一般為10^-8托數(shù)量級，最終數(shù)值決定于氫的分壓強。

　　鋯鋁吸氣劑對氫的吸收特別有效，甚至在室溫下，也能維持l升/秒的抽速。它常被用作在壓強范圍為1～10^-6托的輔助泵，也有用來代替濺射離子泵，對電子管進行排氣的。

　　容積吸氣劑泵的特點是具有高的抽速和容量，特別是對H₂，并有寬廣的運用壓強范圍，使用時較為簡單可靠。它對荷能質(zhì)點的碰撞、射線的照射以及放射性物質(zhì)的存在，都不會影響到容積吸氣劑泵的特性，故它特別適合于核聚變和等離子物理研究的裝置中使用。

　　在超高真空環(huán)境下，許多真空用金屬材料放出的氣體中，主要是H₂，而濺射離子泵在10^-8托以下時，由于H₂的濺射產(chǎn)額低，故抽速較低。如用鋯鋁吸氣劑泵與之配合，就能收到良好的效果。