日韩成人综合,国产欧美亚洲精品第一区软件,久久久人妻,欧美黄片免费看

新聞中心 news center
當前位置:首頁 > 新聞中心 > 行業(yè)動態(tài) > 正文
產(chǎn)品目錄

渦輪分子真空泵的組成及驅(qū)動方式

發(fā)布時間:2016年08月22日 09:46   閱讀:4806   返回   來源:澤德
  渦輪分子真空泵是一種對各種氣體的抽速差別不大的真空泵。它由一系列高速旋轉(zhuǎn)動片和固定的靜片組成,動片和靜片構(gòu)成相間排列。氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)動片相碰撞,就可獲得沿運動表面方向的速度分量,通過系列動片和靜片的組合,使氣體分子沿一定方向運動,從而產(chǎn)生抽氣效果和壓縮氣體作用。渦輪分子泵的壓縮比與氣體分子量的平方根成正比關(guān)系,由于碳氫化合物的分子量較大,因此對碳氫化合物具有凈化作用。它的極限真空可以達到5×10-8~1×10-9Pa。渦輪分子泵的轉(zhuǎn)速一般為20 000 r/min~35 000 r/min,抽氣速率從數(shù)十升每秒到幾千升每秒,安裝方式有垂直式和臥式。渦輪分子泵通常選擇幾何尺寸不同的動片和靜片組成三個抽氣段,即高、中、低抽氣段。高段對葉列片的參數(shù)選擇主要是為了提高抽氣速率,低段對葉列片的參數(shù)選擇則主要考慮提高壓縮比,而中段是過渡階段,要統(tǒng)籌兼顧考慮過渡過程以達到合理匹配。
  渦輪分子泵通常選用中頻電機,因此要采用中頻電源來驅(qū)動。由于旋轉(zhuǎn)動片需要高速運轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)動片的軸承就需潤滑劑來潤滑以達到延長使用壽命。渦輪分子泵需采用循環(huán)水冷卻。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,高性能磁懸浮渦輪分子泵的產(chǎn)品不斷涌現(xiàn),但由于價格昂貴,安裝條件苛刻,只能在特殊設(shè)備中采用。因此,目前電子束曝光機超真空的獲得仍然采用常規(guī)的渦輪分子泵。
 

返回頂部 | 返回列表

全國客服熱線:400-028-6266

E-mail:zehnder@zehnder-pump.com

官網(wǎng)網(wǎng)址:http://b2zone.cn

移動端:http://m.zehnder-pump.com/

關(guān)注澤德微信
關(guān)注澤德微博

Copyright © 2014 四川仁邦環(huán)??萍加邢薰?  污水提升器 污水提升泵 污水提升裝置 b2zone.cn all rights reserved.

蜀ICP備13007897號-6