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渦輪分子泵和復合渦輪泵

發(fā)布時間:2016年07月26日 09:06   閱讀:4659   返回   來源:澤德
  從20世紀70年代后期開始,真空設(shè)備已不再是簡單地將真空室內(nèi)部抽成真空,而是抽氣后導入各種氣體實現(xiàn)化學反應,從而對泵的要求越來越高。這些反應性氣體要求有更大的抽氣速率的真空泵。因此,改良型分子泵即復合式分子泵開始問世。
  分子泵也可以看作非常精密的風扇,當然不是簡單地把風送出去,而是把氣體朝著一個方向排出,實現(xiàn)高真空,它是以尖端的技術(shù)為基礎(chǔ)的。在實際應用中,高速運動是通過旋轉(zhuǎn)實現(xiàn)的。為了實現(xiàn)高真空,旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片分30組相互疊加組合后置入泵體內(nèi),運動時如仔細傾聽,可聽到高速轉(zhuǎn)動的聲音。
  這種真空泵通電后在短時間內(nèi)[2(小型)~40min(大型)]即可啟動,而且從10Pa到超高真空都能使用,非常方便,分子量越大的氣體越能被排出,通常用機械旋片泵作為輔助真空泵使用。因為其屬于高速旋轉(zhuǎn)的機械真空泵,因此防震、加熱、維護等都需要注意。
  在對大量氣體實現(xiàn)抽氣的情況下,分子泵高壓一側(cè)采用高速旋轉(zhuǎn)的螺桿形式。隨著該螺桿部的高速旋轉(zhuǎn),氣體被向出氣處推出,抽氣口的壓力即使上升也不影響真空泵的抽氣,因而抽氣壓力范圍得以向高壓方向擴展,也可以實現(xiàn)對大流量氣體的抽氣。相同口徑的真空泵在10Pa(10-1Torr)時抽氣速度可以提高數(shù)倍。分子泵在對大量氣體抽氣,特別是真空中有化學反應時,因其沒有使用油而不必擔心油的變質(zhì)問題(機械旋片泵等會使油變黏稠)。它還是在對食品等有機物質(zhì)進行處理時很重要的真空泵。
 

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