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渦輪分子泵優(yōu)點和缺點

發(fā)布時間:2016年07月04日 03:06   閱讀:5052   返回   來源:澤德

由于渦輪分子泵在某些方面,要比低溫泵、離子泵和擴散泵更有優(yōu)勢。所以在一般情況下,多選用渦輪分子泵。但是任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。接下來將詳細(xì)介紹渦輪分子泵優(yōu)點和缺點。

渦輪分子泵優(yōu)點

1、清潔,無油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規(guī)程工作,就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境,且不含有任何 碳?xì)浠衔铩?/p>

2、使用方便

在許多應(yīng)用中,渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡單地一按電鈕,泵便能開始工作。從大氣 壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過渦輪分子泵進行粗抽,可一直加速到工作速度為止。

3、氣體輸送能力強

大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程,氦質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。

4、適于超高真空應(yīng)用

一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵,配以性能良好的雙級旋片泵(或同樣性能的干式前級泵),其極限真空 一般可達到10-9——10-10Torr(即133.3——13.33nPa)之間。

5、高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1——10-3Torr(即13.33Pa——133.3mPa)之間運行。在這個壓力范圍內(nèi) ,離子泵不能應(yīng)用,對于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生,對擴散泵的工作也會變得不穩(wěn)定。

渦輪分子泵缺點

1、設(shè)備費用高

考慮到擴散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等,總的花費來計算,二者的差別也就不大了,在某些情況下,渦輪分子泵還是便宜的選擇。

2、對顆粒物或沉積物敏感

一旦出事故損壞就是嚴(yán)重的,不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見,在泵入口處裝上細(xì)孔眼的過濾網(wǎng),以保護泵的正常運轉(zhuǎn)。

3、噪音與振動

從使用經(jīng)驗來看,泵會出現(xiàn)振動和噪音問題,多半是軸承損壞和平衡性差所出現(xiàn)的問題。

4、破碎問題

有些用戶由于害怕轉(zhuǎn)子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵,破碎是在泵正常運轉(zhuǎn)時,葉輪突然遭到吸入異物或 軸承磨損而出現(xiàn)破碎的。

5、暴露大氣易引起事故

如規(guī)管破裂,入口處管道、閥門、密封出現(xiàn)問題,都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵,耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞,但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。

要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉(zhuǎn)性能,用戶一定要按操作規(guī)程和使用步驟進行,應(yīng)該發(fā)揮它的優(yōu)點和盡量避免它的缺點。

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