擴(kuò)散泵油和加熱功率都是影響擴(kuò)散泵性能的重要因素。

　　1.擴(kuò)散泵油

　　優(yōu)良的擴(kuò)散泵油應(yīng)具備下述性能：室溫下的飽和蒸氣壓強(qiáng)低，以提高泵的極限真空度；在加熱工作的溫度下具有高的飽和蒸氣壓，以得到高濃度的蒸氣；熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性及抗氧化性好；表面張力大，以減少爬遷；閃點(diǎn)和著火點(diǎn)高；價(jià)格低廉。

　　擴(kuò)散泵油主要有兩類(lèi)：混合物油和單質(zhì)油。常用的混合物油多是石油烴類(lèi)，是分餾正油產(chǎn)品得到的。這類(lèi)油制造容易、價(jià)格低廉，但飽和蒸氣壓較高，熱穩(wěn)定性、抗氧化性輻差，在工作過(guò)程中常裂解出輕的氣體成分，如H2及各種碳?xì)浠衔?，從而影響擴(kuò)散泵的極限真空。

　　單質(zhì)油有硅油及全氟聚醚等。硅油即有機(jī)硅樹(shù)脂，由人工合成，它具有低的飽和蒸氣壓、良好的抗氧化性及高溫穩(wěn)定性，甚至在大氣壓下短時(shí)間加熱到250℃仍不會(huì)裂解，并可逐漸恢復(fù)性能，繼續(xù)使用。全氟聚醚(又名福布林)的分子相對(duì)質(zhì)量很大，化學(xué)穩(wěn)定性、抗氧化性好，耐輻射、耐UF6腐蝕，在帶電粒子轟擊下僅產(chǎn)生氣態(tài)移質(zhì)而不形成聚合物，故可被抽走，特別適用于粒子加速器、電子顯微鏡、質(zhì)譜計(jì)等真空系統(tǒng)。

　　2.加熱功率

　　擴(kuò)散泵的運(yùn)用性能與加熱功率的關(guān)系。每一項(xiàng)指標(biāo)都有一個(gè)最佳的加熱功率值；且對(duì)于不同的氣體和工作液，這個(gè)數(shù)值是不同的。

　　在抽速方面，如果加熱功率小于最佳數(shù)值，則蒸氣流密度和速度不夠大，抽速?。蝗绻訜峁β食^(guò)最佳值，蒸氣流邊層的湍流加重，同時(shí)油蒸氣分子分解形成的無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)嚴(yán)重化，也使抽速下降。對(duì)于質(zhì)量較小的氣體，需要較大的蒸氣流密度防止反擴(kuò)散，故抽速峰值移向較大功率處。

　　在極限壓強(qiáng)方面，當(dāng)加熱功率過(guò)大時(shí)，油蒸氣分子熱分解，極限壓強(qiáng)上升，故有一個(gè)最佳加熱功率值。

　　臨界前置壓強(qiáng)與最大排氣率完全取決于定向蒸氣流的密度和速度，所以它們隨加熱功率單調(diào)上升。

　　顯然，對(duì)不同的氣體和工作液，擴(kuò)散泵的加熱功率不同。因此，擴(kuò)散泵的加熱功率在調(diào)試好后不應(yīng)隨意改變。