離子泵的工作原理及抽氣作用
發(fā)布時(shí)間：2015年12月21日 09:22 閱讀：12625
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澤德
離子泵能將真空室抽到超高真空范圍內(nèi)。在離子泵起動(dòng)前，真空室的壓強(qiáng)需達(dá)到中真空范圍的下限(～10-2托)。通常，采用吸附泵來產(chǎn)生要求的中真空。離子泵一旦起動(dòng)，可在無其它泵協(xié)助的情況下工作。
離子泵的工作原理，在2個(gè)平面陰極之間是一個(gè)蜂窩狀的陽極結(jié)構(gòu)。所加磁場垂直于陰極板，并平行于蜂房的軸。電子圍繞磁力線作螺旋運(yùn)動(dòng)，使氣體分子電離，電離產(chǎn)生的電子接著使其它氣體分子電離。在碰撞過程中，電子交出能量，并逐漸向陽極移動(dòng)。正離子則加速向由鈦制成的負(fù)極移動(dòng)。離子與鈦互作用，至少發(fā)生3種抽氣作用。
(1)離子使鈦陰極材料濺射出來，它沉積并作為吸收膜，吸收活性氣體(比如氮?dú)?、氧氣和氫?。
(2)有一些能量足夠大的離子，能夠埋藏在電極表面內(nèi)，它們通過離子注植入被吸附。這個(gè)過程對(duì)所有類型的離子，包括稀有氣體或惰性氣體都是有效的。
(3)使用三極管離子泵來增加泵對(duì)惰性氣體抽氣能力是可能的，因?yàn)閺年帢O飛濺出的鈦可將氣體原子埋在靶子電極上。
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