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油擴(kuò)散噴射泵工作原理和應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2015年12月04日 09:59   閱讀:5206   返回   來(lái)源:澤德
  油擴(kuò)散噴射泵利用高壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。油擴(kuò)散噴射泵廣泛用于真空冶煉、空間模擬試驗(yàn)、真空鍍膜和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。在真空系統(tǒng)中,它可以用作為主軸泵,也可串聯(lián)在油擴(kuò)散泵與機(jī)械真空泵之間,用來(lái)提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍的抽氣量和降低前級(jí)機(jī)械真空泵的抽速容量。因此它又常稱(chēng)為油增壓泵。
  同油擴(kuò)散泵一樣,它也由擴(kuò)散噴嘴、噴射噴嘴、泵體、擴(kuò)散器、油鍋、蒸氣導(dǎo)管、冷卻系統(tǒng)和加熱器等部分組成。但在性能和泵的結(jié)構(gòu)上,它同油擴(kuò)散泵有不同之處。兩者的極限真空不同,油擴(kuò)散噴射泵的排氣量就比前者大。油擴(kuò)散泵裝設(shè)有分餾和凈化裝置,而油擴(kuò)散噴射泵不但不要裝分餾和凈化裝置,還要采用較大的加熱功率加熱和采用沸點(diǎn)低、飽和蒸氣壓高的泵油,致使油擴(kuò)散噴射泵的油鍋蒸氣壓比擴(kuò)散泵大數(shù)倍或數(shù)十倍,即高達(dá)數(shù)百帕以至數(shù)干帕。油擴(kuò)散噴射泵需要裝設(shè)大擴(kuò)張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長(zhǎng)的擴(kuò)散器來(lái)提高泵的前級(jí)反壓力,因此,油擴(kuò)散噴射泵是兼具油擴(kuò)散泵和噴射泵抽氣性能的真空泵。
  油擴(kuò)散噴射泵屬動(dòng)量傳輸真空泵。利用高壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣。又稱(chēng)油增壓泵(可應(yīng) 用于大型油擴(kuò)散泵的出口處,來(lái)增壓其出口壓強(qiáng))。與油擴(kuò)散泵相比,二泵的抽氣原理無(wú)多大區(qū)別,但 在結(jié)構(gòu)和性能上卻有不同之處,油擴(kuò)散噴射泵不需裝分餾和凈化裝置,但要采用較大的加熱功率加熱和 采用沸點(diǎn)低、飽和蒸氣壓高的泵油,使油蒸氣壓比擴(kuò)散泵大數(shù)倍或數(shù)十倍。油擴(kuò)散噴射泵還須裝設(shè)大擴(kuò) 張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長(zhǎng)的擴(kuò)散器來(lái)提高泵的前級(jí)反壓力,所以泵能穩(wěn) 定的工作在10-1-1帕或更高的壓力范圍(擴(kuò)散泵為10-1-10-4),其極限壓力為10-2帕(擴(kuò)散泵為10-1-10 -5帕),抽氣速率為幾百到幾萬(wàn)升每秒,最大反壓力為幾百帕。作為中真空獲得的主要設(shè)備,油擴(kuò)散噴 射泵廣泛用于真空冶煉,真空鍍膜等對(duì)油污染不敏感的真空系統(tǒng)中。

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