油擴散噴射泵利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。油擴散噴射泵廣泛用于真空冶煉、空間模擬試驗、真空鍍膜和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。在真空系統(tǒng)中，它可以用作為主軸泵，也可串聯(lián)在油擴散泵與機械真空泵之間，用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍的抽氣量和降低前級機械真空泵的抽速容量。因此它又常稱為油增壓泵。

　　同油擴散泵一樣，它也由擴散噴嘴、噴射噴嘴、泵體、擴散器、油鍋、蒸氣導管、冷卻系統(tǒng)和加熱器等部分組成。但在性能和泵的結構上，它同油擴散泵有不同之處。兩者的極限真空不同，油擴散噴射泵的排氣量就比前者大。油擴散泵裝設有分餾和凈化裝置，而油擴散噴射泵不但不要裝分餾和凈化裝置，還要采用較大的加熱功率加熱和采用沸點低、飽和蒸氣壓高的泵油，致使油擴散噴射泵的油鍋蒸氣壓比擴散泵大數(shù)倍或數(shù)十倍，即高達數(shù)百帕以至數(shù)干帕。油擴散噴射泵需要裝設大擴張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長的擴散器來提高泵的前級反壓力，因此，油擴散噴射泵是兼具油擴散泵和噴射泵抽氣性能的真空泵。

　　油擴散噴射泵屬動量傳輸真空泵。利用高壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣。又稱油增壓泵(可應 用于大型油擴散泵的出口處，來增壓其出口壓強)。與油擴散泵相比，二泵的抽氣原理無多大區(qū)別，但 在結構和性能上卻有不同之處，油擴散噴射泵不需裝分餾和凈化裝置，但要采用較大的加熱功率加熱和 采用沸點低、飽和蒸氣壓高的泵油，使油蒸氣壓比擴散泵大數(shù)倍或數(shù)十倍。油擴散噴射泵還須裝設大擴 張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長的擴散器來提高泵的前級反壓力，所以泵能穩(wěn) 定的工作在10^-1-1帕或更高的壓力范圍(擴散泵為10^-1-10^-4)，其極限壓力為10^-2帕(擴散泵為10^-1-10 ^-5帕)，抽氣速率為幾百到幾萬升每秒，最大反壓力為幾百帕。作為中真空獲得的主要設備，油擴散噴 射泵廣泛用于真空冶煉，真空鍍膜等對油污染不敏感的真空系統(tǒng)中。