多級羅茨泵的特征

 

為了滿意以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制作工藝對無油的干凈真空的須要，越來越多的干式真空取得裝備得以開發(fā)及普遍運用。其中，干式羅茨泵以其抽速大、對任務(wù)條件請求較寬松等長處在干泵市場中占領(lǐng)主要的位置。而在于式羅茨泵當中，則是以多級羅茨泵為主，美日等真空技巧對比興旺的國度都已開發(fā)作產(chǎn)出多級羅茨泵的系列產(chǎn)品，運用于半導(dǎo)體及化工工業(yè)中。

所謂“多級”是相關(guān)于傳統(tǒng)意義上的“單級”羅茨泵而言的，即在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級羅茨型轉(zhuǎn)子，各級轉(zhuǎn)子由兩頭壁來隔離，造成絕對獨立的泵腔，各級泵腔之間通過上一級的進氣口和下一級的排氣口間的氣流通道相銜接。各級轉(zhuǎn)子的直徑和外形是雷同的，而各級轉(zhuǎn)子的寬度有時是不同的，向低壓側(cè)方向變窄了。為了增添收縮比，氣冷式三葉轉(zhuǎn)子。被抽氣體從第一級的進氣口進入泵腔，經(jīng)一級收縮后，通過氣流通道進入下一級泵腔中繼承收縮，氣體經(jīng)過如此逐級收縮，最后從最后一級的排氣口排出。簡言之，“多級”就是“多綴轉(zhuǎn)子”，“多級泵腔”，“多級收縮”。

多級羅茨泵通過多級轉(zhuǎn)子的串聯(lián)完成多個羅茨泵串聯(lián)的后果，因為是串聯(lián)，所以多級羅茨泵并不能比單級羅茨祭領(lǐng)有更大的抽速，其實踐抽速是取決于第一級的實踐抽速。然而，這種構(gòu)造卻能夠使羅茨泵到達很高的收縮比，因而，多級羅茨泵是能夠作為主泵直排大氣，而無需再配置前級泵，這樣就能夠避免前級裂環(huán)節(jié)給體系帶來的油氣凈化。3-6級的羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力1pa，如此高的壓力差會使轉(zhuǎn)子過熱嘭脹，而發(fā)作卡逝世景象，所以要在低壓段對轉(zhuǎn)子進行氣冷，以掌握轉(zhuǎn)予的溫度不超越其許可規(guī)模。個別的氣冷計劃是使從各級的排氣口排出的氣體流經(jīng)冷卻器冷卻，再返回到該級的任務(wù)腔中，運用冷卻氣體來冷卻轉(zhuǎn)子。當然，這種冷卻方式是要以喪失羅茨泵的抽速為代價的。為了避免軸承和齒輪的光滑油向泵腔內(nèi)返流，多級羅羨泵的泵腔和齒輪箱之距離開或用迷宮式構(gòu)造加以密封，為了進步無油的水平，齒輪箱也有另外用真空泵排氣的狀況。